Китайская компания Prinano, известная также под названием PuLin Technology, сделала важный шаг вперёд в области нанотехнологий, поставив свой первый полностью разработанный в Китае наноимпринтный литограф модели PL-SR компании из Поднебесной. Эта система предназначена для реального промышленного производства микросхем, что свидетельствует о растущих способностях Китая в высокотехнологичных секторах. Prinano стала второй компанией в мире после гиганта Canon, которая сумела внедрить наноимпринтный литограф у практического клиента, что является важным этапом прогресса в области микроэлектроники и нанотехнологий.
На сегодняшний день наноимпринтная литография считается одним из перспективных способов производства миниатюрных схем благодаря своей способности точечно создавать узоры на поверхности пластин с разрешением менее десяти нанометров. В отличие от классических методов, таких как фокусно-импульсная звёздная литография или EUV (экстремально ультрафиолетовая), технология Prinano не требует использования сложных и дорогостоящих источников ультрафиолетового излучения высокой энергии. Это значительно снижает как ценовую планку оборудования, так и энергопотребление, что особенно важно для масштабных промышленных производств. При этом,值得 отметить, что система PL-SR способна создавать схемы для чипов класса 5 нанометров, что открывает новые горизонты в разработке передовых полупроводниковых устройств. Однако в документации подчеркнуто, что это не означает, что модель способна полностью заменить EUV-технологии при производстве высокопроизводительной логики по техпроцессу в 5 нм.
Использование нанопечати в качестве альтернативы классической оптической литографии связано с рядом существенных преимуществ и ограничений. Одно из ключевых преимуществ — отсутствие необходимости использования экстремально ультрафиолетовых источников, что не только снижает стоимость и сложность оборудования, но и уменьшает энергетические затраты. Однако, эксперты отмечают, что подобные системы работают медленнее и уступают по производительности стандартным лазерным и EUV-методам, особенно при создании сложных схем и многослойных структур. Это обусловило тенденцию использования наноимпринтных технологий преимущественно для производства менее сложных устройств, таких как флэш-память или определённые виды интегральных схем, в то время как создание высокотехнологичных процессоров и графических процессоров требует более быстрого и точного оборудования.
Принано использует уникальную методику формирования рисунка на кремниевых пластинах: на поверхность нанометаллического слоя наносится мягкий слой резиста, после чего жесткая кварцевая форма, выгравированная с помощью наноразмерных схем, прижимается к пластины. В процессе объем капель регулируется со сравнительной точностью с помощью динамически управляемого струйного модуля, который следит за объемом капель для сохранения очень тонкого слоя резиста — менее десяти нанометров — с отклонением менее двух нанометров. Эта особенность позволяет максимально точно наносить сложные узоры даже на большую 300-миллиметровую пластину. В результате процессов становится возможным производство малых структур на современном уровне, что способствует развитию микроэлектроники в Китае и демонстрирует потенциал наноимпринтных технологий для расширения возможностей массового производства.
Достижения Prinano служат ярким примером растущей конкуренции в области нанотехнологий и высокоточной микро- и наноизоляции. Китай продолжает укреплять свои позиции на передовой мировой арене в данной области, демонстрируя свою способность создавать сложные системы не только для исследований, но и для практического внедрения. В перспективе это может привести к снижению зависимости от зарубежных технологий и стимулировать развитие внутреннего индустриального комплекса, что благоприятно скажется на глобальной цепочке поставок и стоимости высокотехнологичных устройств. Компания Prinano продолжит совершенствовать свои системы, расширяя возможности для производства более сложных и быстрых чипов, а также налаживая сотрудничество с различными промышленными партнёрами.
